°Ç¼³½Å±â¼ú Á¦331È£
ºÐ¾ß °ÇÃà½Ã°ø
¹üÀ§
1. ¾ÆÁú»ê¸®Æ¬¿°°ú ½Ç¶õÈÇÕ¹°·Î Á¶¼ºµÈ ³ëÈÄÈµÈ RC±¸Á¶¹°ÀÇ ³ëÃâö±Ù °áÇԺΠǥ¸éº¸¼ö¸¦ À§ÇÑ ¾ËÄ®¸®ºÎ¿©¼º ¹æûȯ¿øÀçÀÇ Á¦Á¶¹æ¹ý
2. ±Ô»ê¸®Æ¬¿°°ú ½Ç¶õÈÇÕ¹°·Î Á¶¼ºµÈ ³ëÈÄÈµÈ RC±¸Á¶¹°ÀÇ Ç¥¸é°áÇԺΠ¾ËÄ®¸®ºÎ¿©¼º Ç¥¸éó¸®ÀçÀÇ Á¦Á¶¹æ¹ý
3. »ó±â ¾ËÄ®¸®ºÎ¿©¼º ¹æûȯ¿øÀç¿Í Ç¥¸éó¸®À縦 »ç¿ëÇÑ ³ëÈÄÈµÈ RC±¸Á¶¹°ÀÇ Ç¥¸é º¸¼ö°ø¹ý
³»¿ë
º» ½Å±â¼úÀº ±âÁ¸RC±¸Á¶¹°ÀÇ Áß¼ºÈÇö»ó ¹®Á¦Á¡À» ±Øº¹Çϱâ À§ÇÏ¿© ÀÌ·ÐÀû ±â¼ú°³¹ß ¹è°æÀ» ¼³Á¤ÇÏ¿© °ø±â´ÜÃà, Ç°Áú°ü¸®, °æÁ¦¼º ¹× ȯ°æ°³¼± µî¿¡ ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±¹»ê°³¹ß ¼ÒÀ縦 »ç¿ëÇÑ ³ëÈÄÈµÈ RC±¸Á¶¹°ÀÇ Ç¥¸éº¸¼ö°ø¹ýÀÌ´Ù.
¾ËÄ®¸®ºÎ¿©¼º ¹æûȯ¿øÀç´Â ¾ÆÁú»ê¸®Æ¬¿°°ú ½Ç¶õÈÇÕ¹°ÀÇ È¥ÇÕÀ¸·Î ¼öºÐ°úÀÇ ¹ÝÀÀÀ» ¾ïÁ¦ÇÏ¿© ÀçºÎ½ÄÀ» ¹æÁöÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÇÏ¿´À¸¸ç, ½Ç¶õ(SiH4)ÀÇ ¼Ò¼ö¼º »óÈ£ÀÛ¿ëÀ¸·Î ºÎÂø·Â Çâ»ó¿¡ ±â¿©Çϵµ·Ï ÇÏ¿´´Ù. ¶ÇÇÑ, ¾×»ó¼ÒÀçÀÇ µµÆ÷¸¸À¸·Îµµ ö±ÙÀÇ ¹æûȯ¿ø, ÁÖº¯ºÎ ÄÜÅ©¸®Æ®ÀÇ ¾ËÄ®¸®ºÎ¿© ¹× Ç¥¸é°È¿Í ´Ü¸é¼öº¹¿ë ¸ð¸£ÅÍ¿ÍÀÇ ºÎÂø·ÂÇâ»ó¿¡ ±â¿©ÇÏ¿© °ø±â´ÜÃàÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
¾ËÄ®¸® ºÎ¿©¼º Ç¥¸éó¸®Àç´Â ±Ô»ê¸®Æ¬¿°ÈÇÕ¹°°ú ½Ç¶õÈÇÕ¹°ÀÇ È¥ÇÕÀ¸·Î Ä£¼ö¼º°ú ¼Ò¼ö¼ºÀ» ÀûÁ¤·® °øÀ¯½ÃÄÑ Ä§Åõ¼º, ÀÌ¿ÂÈ®»ê¼º µîÀÇ ±â´ÉºÎ¿© ¹× ¼Ò¼ö¼º ºÎ¿©·® Á¶Á¤À¸·Î ³»±¸¼º Çâ»óÀ» À§ÇÑ ¼öºÐÁ¦¾î È¿°ú¹ßÈÖ°¡ µÇµµ·Ï ÇÏ¿´°í, ¾ËÄ®¸®Ä§½Ä¹æÁö¸¦ À§ÇØ pH11 Á¤µµ·Î ¾ËÄ®¸®³óµµ¸¦ Á¶Á¤ÇÏ¿´´Ù.
±â°£ 2002-04-27 ~ 2008-04-26
°³¹ßÀÚ °ÇÀ¶°Ç¼³(ÁÖ) ¼Ûº´Ã¢ |
|